氣體質(zhì)量流量計(jì)，是用于精確測(cè)量氣體流量的專業(yè)儀表，在眾多領(lǐng)域發(fā)揮著作用。其工作原理主要基于熱式測(cè)量原理。以常見的熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)為例，典型傳感元件包含兩個(gè)熱電阻其中一個(gè)作為速度傳感器，被加熱到高于環(huán)境溫度的恒定溫度；另一個(gè)是用于感應(yīng)介質(zhì)溫度的溫度傳感器。當(dāng)氣體流經(jīng)速度傳感器時(shí)，會(huì)帶走部分熱量，致使傳感器溫度降低。為維持溫度恒定，需增加通過傳感器的工作電流，而增加的電流大小與氣體流速成正比，進(jìn)而通過測(cè)量熱傳遞量計(jì)算出氣體的質(zhì)量流量。這種方式無需溫壓補(bǔ)償，就能直接得出氣體的質(zhì)量流量。

可實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)測(cè)量，精度通常能達(dá)到 ±1% 的讀數(shù)甚至更高，為實(shí)驗(yàn)與生產(chǎn)過程提供可靠數(shù)據(jù)支持。比如在化學(xué)氣相沉積實(shí)驗(yàn)中，對(duì)反應(yīng)氣體流量的精準(zhǔn)控制，確保了薄膜生長的均勻性與成分精確性，誤差可控制在極小范圍內(nèi)。

在化學(xué)與材料科學(xué)領(lǐng)域，用于氣相沉積實(shí)驗(yàn)控制反應(yīng)氣體流量，保障薄膜質(zhì)量；在生物與醫(yī)學(xué)研究中，精準(zhǔn)供給細(xì)胞培養(yǎng)所需氣體，維持細(xì)胞生長環(huán)境；在環(huán)境科學(xué)與能源研究方面，采集空氣樣品時(shí)控制流量，助力大氣污染物監(jiān)測(cè)等 。